【Введение】：
Литография TG2U используется в БИС, датчиках, компонентах поверхностных волн, магнитных пузырьках, микроволновой печи, ПЗС-матрицах и так далее.
【Примечание】：
Литография TG2U Технические параметры:
1.Размер шаблона:
а．100×100×2-3 мм;
б) 75×75×2-3 мм:
2．Размер кремния: Φ50-Φ75 мм, реальная ширина линии 3-4 мкм;
3．Сравнительное смещение между шаблоном и кремнием:
a．X、Y ≥±2．5мм；
b．θ(поворот)≥±5°；
4. Опорная станция (кремниевая) вращает ось Z: грубая настройка на 360°, точная настройка ±5;
5. Интегрированный диапазон перемещения рабочей станции: X, Y, диаметр 75 мм;
6．Расстояние между базовой станцией шара и шаблоном: 0-7 мм;
7．система воздействия: GCQ200W над шариком высокого давления Hg, длина волны воздействия: 300～436 нм;
8.Энергия составляет не менее 407 нм длины волны; 7 МВт／см;
9．неравномерность находится в пределах Φ75 мм: ±5%:
10．Длина волны освещения: ≈545 нм;
11．Время воздействия: O, 01 секунд-99, 99 минут;
12．диапазон фокусировки бинокля: 13 мм;
13．зум бинокля:
а.пара окуляров: 1OX, 16X;
б．Объектив с плоским полем: 6X, 9X, 15X;
в)общее уменьшение масштаба: 60X-240X;
14．Давление вакуумного касания: ≥O,7 кгс;
15．источник питания:
а. частота: 50 Гц (Z);
б. Поворотное входное напряжение: 190–230 В.
c. Потребляемая мощность: ≤300 ВА;
16.Размеры: 1000X850X980 мм (2 коробки).
17. Вес: ≈200 кг;
(1) подача вакуума: ≥450 мм рт.ст.;
(2) Устройство стабильности подачи воздуха находится ниже.
Добавить: Если у пользователя есть какие-либо особые пожелания, пожалуйста, свяжитесь с нами.
